特許
J-GLOBAL ID：200903074246078580
検査用照明装置及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-089429
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283579
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 正常形状のバンプとバンプ形状を実質的に喪失した不良バンプとの区別を容易に行うことができ、バンプ形状の自動検査を可能とし得る検査用照明装置を提供する。【解決手段】 基板の平坦面から突出するバンプの突出状態を検査する検査用照明装置であって、該バンプが形成された基板が配設される空間部が設けられた環状の枠体22と、ハロゲン化金属ランプを用いた光源に一端が連結された複数本の光ファイバ28から成り、且つ光ファイバ28の各々の他端が枠体22の底面に分散して設けられた光ファイバ束26と、光ファイバ束26を介して枠体の底面から下方に向けて射出される光源からの照射光を反射し、枠体22の空間部に配設される基板の平坦面に対して10〜20°の角度で照射光を射出する反射面30が形成された反射鏡部32とを具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板面等の平坦面から突出するバンプの突出状態を検査する検査用照明装置であって、該バンプが形成された基板等の検査対象が配設される空間部が設けられた枠体と、光源に一端が連結された複数本の光ファイバから成り、且つ前記光ファイバの各々の他端が前記枠体の底面に分散して設けられた光ファイバ束と、前記光ファイバ束を介して枠体の底面から下方に向けて射出される光源からの照射光を反射し、枠体の空間部に配設される検査対象の平坦面に対して実質的に平行な照射光を射出する反射面が形成された反射鏡部とを具備することを特徴とする検査用照明装置。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G01N 21/84
, G01N 21/88
H01L 21/66 J
, G01B 11/24 C
, G01N 21/84 E
, G01N 21/88 F
