特許
J-GLOBAL ID：200903074261554797
ウェハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 政雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-261287
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085498
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 複数のフォークに対し、直動アクチュエータを共用して装置の効率化・コストの低減を図るウェハ搬送装置を提供する。【解決手段】 1個の直動アクチュエータ(リニアモータ10) により、複数のフォーク(B・2, A・1)を個別に動作させる手段として、任意に選択されたフォーク(2または1)を動作させるために、直動アクチュエータ(10 )と選択されたフォーク(例えば2)を連結連結・切り離しする手段( リストベースA・4,リストベースB・6,ロータリソレノイド12,連結棒13)を備え、楔形状等を有する連結部(4,6,6a,13)により、連結部がガタの無い嵌合状態で連結され、移動部(6,4)にV字溝等のプランジャ溝(6g)等を設けて成る。
請求項（抜粋）：
1個の直動アクチュエータにより、複数のフォークを個別に動作させることを特徴とするウェハ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 D
5F031CA02
, 5F031GA48
, 5F031LA08
, 5F031MA23
