特許
J-GLOBAL ID：200903074265975452
摩擦力測定装置および走査型摩擦力顕微鏡
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-189789
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015137
出願日： 1995年07月03日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】 試料面に損傷を与えることなく探針と試料面との間の各種摩擦力を計測可能にする。【構成】 摩擦力測定装置および走査型摩擦力顕微鏡において、カンチレバー(1)に設けられた探針(3)を試料面(11)に所定の接触圧で接触および離脱を行なわせ、探針(3)が試料面(11)に接触している間に探針(3)と試料(11)とを試料面に沿って横方向に変位または振動させる。これに応じて探針(3)と試料(11)との相互作用により踏み出されるカンチレバー(1)の変位を計測し(21,13)、この変位から探針と試料との摩擦力を示す信号を生成する。探針を試料面上の複数の測定点に順次移動させ、各測定点で摩擦力を求め必要に応じて摩擦力の分布を画像化する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーに設けられた探針を、試料面に所定の接触圧で接触および離脱を行なわせるとともに、前記探針が試料面に少なくとも接触している間に前記探針と試料とを相対的に試料面に沿って変位あるいは振動させる駆動機構と、前記探針と試料との相互作用により生み出されるカンチレバーの変位を計測する変位計測手段と、前記変位計測手段の出力から前記探針と試料との摩擦力を示す信号を生成する信号処理手段と、を具備することを特徴とする摩擦力測定装置。
IPC (4件)：
G01N 19/02
, G01B 21/30
, G01L 5/00
, G01N 37/00
G01N 19/02 C
, G01B 21/30 Z
, G01L 5/00 G
, G01N 37/00 F
