特許
J-GLOBAL ID：200903074270294749
薄膜ヘッド生産管理方法及びそのための装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-341432
公開番号（公開出願番号）：特開平10-188223
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 薄膜ヘッド製品などのようなプロセス処理工程と加工処理工程を経て一つのワークを作っていく製品を能率良く、高歩留りで生産管理すること。【解決手段】 プロセス処理工程101、加工処理工程102、組立処理工程103からなる被加工物製造ラインにおいて、プロセス処理工程での製造品質情報24を収集して被加工物の最終特性情報を推定し、推定された最終特性情報に基づいて加工処理工程における適宜の製造条件を有する加工処理設備を指定し、加工処理設備での製品品質情報25を収集して被加工物の最終特性情報を推定し、加工処理設備での前記推定された最終特性情報に基づいて組立処理工程における製造条件を設定し、所望の最終特性を有する被加工物が得られるように被加工物を製造し、製造された被加工物の最終特性を測定してこれに基づいて最終特性情報の推定値を更新する生産管理方法。
請求項（抜粋）：
薄膜工程、機械加工工程、組立工程からなる薄膜素子製造ラインにおいて、薄膜工程での製造品質情報を収集する手段と、機械加工工程での製造品質情報を収集する手段と、組立工程での製造品質情報を収集する手段と、薄膜素子製品の最終特性情報を収集する手段と、前記収集されたそれぞれの製造品質情報と最終特性情報とを適宜の数値幅で区切られたマトリクス情報としてデータ格納する手段と、を有し前記マトリクス情報に基づき、所望の最終特性を得るために、前記各工程での製造条件を設定することを特徴とする生産管理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 5/31 Z
, H01L 21/66 Z
