特許
J-GLOBAL ID：200903074271158407
電子源の製造方法とその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019086
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223014
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 複数の表面伝導型放出素子の素子特性のばらつきを低減させた電子源の製造方法及び装置を提供する。【解決手段】 基板上に形成された導電性膜のそれぞれの抵抗を検出し(S3)、それら検出された抵抗値の最小値(Rmin)と最大値(Rmax)とに応じて、印加すべき最小電圧(Vmin)と最大電圧(Vmax)とを決定する(S4)。こうして決定された最小電圧から電圧を最大電圧まで増加させながら、真空中で導電性膜のそれぞれにパルス電圧を印加し、当該導電性膜に電子放出部を形成する。
請求項（抜粋）：
それぞれが電極間に電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子を多数個基板上に配置した電子源の製造方法であって、前記導電性膜のそれぞれの抵抗を検出する検出工程と、前記検出工程で検出された抵抗値の最小値(Rmin)と最大値(Rmax)とに応じて、印加すべき最小電圧(Vmin)と最大電圧(Vmax)とを決定する電圧決定工程と、前記最小電圧から連続的に電圧を増加させて前記導電性膜のそれぞれに電圧を印加し、当該導電性膜に電子放出部を形成するフォーミング工程と、を有することを特徴とする電子源の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 E
, H01J 1/30 E
