特許

J-GLOBAL ID：200903074271290607

紫外線照射装置の多層膜フィルタ

発明者： 坂井 照男 ,  伊藤 拓 ,  塩川 紀子
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144428
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341120
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 経時変化による紫外線の透過率の減少が少なく、かつクラック発生のおそれの少ない多層膜フィルタを得ること。【構成】 光透過性基板上に高屈折率膜と低屈折率膜を積層して形成されている多層膜フィルタにおいて、高屈折率膜として、Pr6O11およびNbを含有したTiO2膜を用い、低屈折率膜として、MgF2膜、SiO2膜、およびAl2O3 膜の2種類以上の膜を用い、これら高屈折率膜と低屈折率膜を光透光性基板上に交互に積層して形成した多層膜フィルタ。

請求項（抜粋）：

紫外線光源と被照射物との間に配設される多層膜フィルタであって、この多層膜フィルタは、光透過性基板上に高屈折率膜と低屈折率膜を積層して形成されている多層膜フィルタにおいて、上記高屈折率膜として、Pr6O11およびNbを含有したTiO2膜を用い、上記低屈折率膜として、MgF2膜、SiO2膜、およびAl2O3 膜の2種類以上の膜を用い、これら高屈折率膜と低屈折率膜を光透光性基板上に交互に積層したことを特徴とする紫外線照射装置の多層膜フィルタ。