特許

J-GLOBAL ID：200903074278232459

弾性境界波装置

発明者： 伊藤 克美 ,  芝 隆司 ,  池田 宏明 ,  比企野 治 ,  山田 佳弘
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-261096
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112764
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】本発明では、基板のエッジで発生する不要反射波を抑えることにより弾性境界波装置の特性を向上させと共に、小型実装することを目的としている。【構成】エッジで発生する不要反射を減衰、または、分散させるために、本発明では基板の両端にイオンの打ち込みを行う、アブソーバを添付する、グレーティングを設けるなどの方法を用いる。【効果】本発明を用いることで電極指からエッジまでの弾性境界波の伝搬を減衰、または分散させ、エッジで発生する不要反射波を抑えることにより、弾性境界波装置の特性を向上させると共に、小型実装することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に第2の薄膜層を設け、その境界に、電気機械変換器が配置された弾性境界波装置において、前記基板と前記薄膜層のどちらか一方、あるいは両方の両端にイオンを打ち込むことを特徴とする弾性境界波装置。