高周波交流パルス発生電源装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223855
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043281
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】半導体製造工程におけるドライエッチング装置の改良に有効な高周波交流パルス発生電源の提供。【解決手段】本発明によれば、単一の+電圧可変電源を単一の高周波トランスに入力し、必要とする交流電圧、電流に対応したパワーMOS FETをON/OFFし、一例として負荷に負の電圧発生パルス時間が正の電圧発生パルス時間よりも長い高周波交流パルスを出力することができる。

請求項（抜粋）：

正の持続時間と負の持続時間を制御するパルス信号発生回路と、前記パルス信号発生回路に従いON/OFFするスイッチング素子を用いたスイッチング回路と、1次側巻線に正の電圧を発生する巻線と負の電圧を発生する巻線を、2次側に矩形波状の出力電圧を出力する巻線を設けた高周波トランスと、前記スイッチング回路に電力を供給する単一の+電圧可変電源を設けた高周波交流パルス発生電源装置において、前記高周波トランスの1次側巻線の正の電圧を発生する巻線数と負の電圧を発生する巻線数の比を前記パルス信号発生回路から出力する正の持続時間と負の持続時間の比に比例としかつ、2次側巻線数を2次側に必要とする矩形波状の出力電圧が発生する1次側巻線数との比に設定したことを特徴とする高周波交流パルス発生電源装置。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 , H02M 7/538

FI (2件)：

H02M 7/538 Z , H01L 21/302 B

Fターム (9件)：

5F004AA02 , 5F004AA16 , 5F004CA03 , 5H007BB00 , 5H007CA02 , 5H007CB06 , 5H007CC12 , 5H007CC32 , 5H007DA06

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