特許
J-GLOBAL ID：200903074312630990
薄膜圧電共振子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三反崎 泰司
, 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-274489
公開番号（公開出願番号）：特開2006-014381
出願日： 2005年09月21日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
【課題】 所望の電気的特性を有する薄膜圧電共振子を得る。【解決手段】 薄膜圧電共振子1の製造工程において、基体2の上に形成した下部電極3を覆うようにして基体2の上に圧電膜4を形成した後に、上部電極6を形成するための電極材料層6bを圧電膜4よりも上側に形成し、電極材料層6bの上に所定形状のマスクを形成した後に電極材料層6bをエッチングすることによって上部電極6を形成する。電極材料層6bを形成する工程に先立ち、電極材料層6bのエッチング時に圧電膜4を保護するための保護層5を圧電膜4における少なくとも上部電極6の非形成部位を覆うようにして形成し、その後に保護層5を覆うようにして電極材料層6bを形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基体上に形成された圧電膜と、
前記圧電膜の上下に設けられた少なくとも一対の電極と、
前記基板から遠い側の電極と前記圧電膜との間に介在すると共に、前記圧電膜の表面全体を覆う保護層と
を備えたことを特徴とする薄膜圧電共振子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5J108BB07
, 5J108CC11
, 5J108FF05
