特許
J-GLOBAL ID：200903074314990403
液晶表示器用ガラス基板の検査方法及び検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西森 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-339098
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146323
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 片側にのみ検査用パッドを持つゲート電極線、データ電極線の断線及び短絡を検出する。【構成】 データ電極線又はゲート電極線に時間的に変化する電圧を印加することによりそれら電極線の電位を時間的に変化させる。プローブ41を非接触に基板上の被検査電極線12上に配置し、被検査電極線12とプローブ41間の静電容量を介して被検査電極線12の電位変化を検知することにより電極線の断線、短絡等を検出する。
請求項（抜粋）：
マトリクス状に配列された複数個の画素を、互いに直交する複数のデータ電極線と複数のゲート電極線とから作り出すマトリクス型液晶表示器用ガラス基板の検査方法において、データ電極線又はゲート電極線に時間的に変化する電圧を電極線の片側に設けたパッドと接触式プローブとを介して印加することによりそれら電極線の電位を時間的に変化させ、プローブを非接触に基板上の被検査電極線上に配置し、被検査電極線とプローブ間の静電容量を介して被検査電極線の電位変化を検知することにより電極線の断線、短絡等を検出することを特徴とする液晶表示器用ガラス基板の検査方法。
IPC (4件)：
G01R 31/02
, G01R 31/302
, G02F 1/1343
, G09G 3/36
