特許

J-GLOBAL ID：200903074326083851

薄膜物性評価装置

発明者： 木村 正人 ,  鶴見 正明
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-118992
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325029
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 薄膜の状態に左右されず、付着力を高精度に測定する。【構成】 基板2上に薄膜3が形成されている試験片1を用いて、前記試験片1の下部に位置し、前記試験片1を傾斜させる傾斜機構4を備え、前記試験片1に対する押し込み荷重を測定する荷重変換器6と、前記試験片1の上方に位置し、先端部8がルビー、サファイア、ガラス、ファインセラミックおよび焼結体金属のいずれかにより形成され、前記試験片1に押し込み変形を与える圧子7と、前記圧子7を垂直方向に駆動する駆動器9と、前記圧子7の前記試験片1に対する押し込み量を測定する変位計10と、前記押し込み荷重および押し込み量に基づいて前記薄膜の基板に対する付着力を測定するメイン制御部とを有する。

請求項（抜粋）：

基板上に薄膜が形成されている試験片を用いて、前記試験片の下部に位置し、前記試験片を傾斜させる傾斜機構を備え、前記試験片に対する押し込み荷重を測定する荷重変換器と、前記試験片の上方に位置し、前記試験片に押し込み変形を与える圧子と、前記圧子を垂直方向に駆動する駆動器と、前記圧子の前記試験片に対する押し込み量を測定する変位計と前記押し込み荷重および押し込み量に基づいて前記薄膜の基板に対する付着力を測定するメイン制御部とを備えた薄膜物性評価装置において、前記圧子の先端部は、ルビー、サファイア、ガラス、ファインセラミック及び焼結体金属のいずれかで形成されていることを特徴とする薄膜物性評価装置。

IPC (2件)：

G01N 19/04 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-031036
  
• 特開昭62-039743
  
• 特開昭63-140936
  
• 特開昭63-238448