特許

J-GLOBAL ID：200903074340022687

歪測定装置

発明者： 亀川 正之
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143666
公開番号（公開出願番号）：特開平7-004928
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 レーザー光を利用した非接触の測定で、しかも従来のスペックルパターンを利用した測定に比してより広範囲な領域での平均的な歪みの測定が可能で、かつ、従来の伸び計等を用いた測定結果との関連づけが容易なデータを得ることのできる歪測定装置を提供する。【構成】 試験体Wに対し測定すべき歪み方向に所定距離隔てた2箇所にレーザービームB1,B2 を照射する光学系と、その各照射位置からの反射光を独立的に入力してそれぞれのスペックルパターンを測定するイメージセンサ12,22と、その各スペックルパターンデータの相互相関をそれぞれ計算してそのスペックルパターンの移動量を個別に算出し、その各移動量の差から試験体Wの2箇所間の歪み量を算出する演算手段30を設ける。

請求項（抜粋）：

試験体表面に対して、その測定すべき歪み方向に所定の距離を隔てた2箇所にそれぞれレーザービームを照射する光学系と、その各照射位置からの反射光をそれぞれ独立的に入力してそれぞれのスペックルパターンを測定するためのイメージセンサと、そのイメージセンサからの各照射位置におけるスペックルパターンデータの相互相関関数を算出することにより各照射位置でのスペックルパターンの移動量を個別に求めるとともに、その各移動量の差から試験体の上記2箇所間における歪み量を算出する演算手段を備えた歪測定装置。