特許

J-GLOBAL ID：200903074346305150

基板の吸着保持装置

発明者： 高野 正人 ,  小林 正義
出願人/特許権者： テイーデイーケイ株式会社
代理人 (1件)： 村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-304137
公開番号（公開出願番号）：特開平5-111995
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】 切欠や大径穴を有する多様な基板に対応可能とするとともに、段取り換えを容易にかつ短時間に実行可能とする。【構成】 昇降自在なバックアッププレート30上に下部吸引通路を形成した下部ブロック31を固定し、前記下部吸引通路に連通する上部吸引通路を有する上部ブロック55を前記下部ブロック31に対して着脱自在に嵌合し、該上部ブロック55の基板載置面に配設されかつ前記上部吸引通路に接続された吸着パッド61にて基板を吸着保持する構成である。

請求項（抜粋）：

昇降自在なバックアッププレートと、該バックアッププレート上に固定されていて下部吸引通路を形成した下部ブロックと、前記下部吸引通路に連通する上部吸引通路を有していて前記下部ブロックに対して着脱自在に嵌合する上部ブロックと、該上部ブロックの基板載置面に配設されかつ前記上部吸引通路に接続されていて負圧で基板を吸着保持する吸着部材とを備えたことを特徴とする基板の吸着保持装置。

IPC (4件)：

B41F 15/20 ,  B41F 15/08 303 ,  B41F 15/26 ,  H05K 3/12