特許
J-GLOBAL ID：200903074348212540
クリーンボックスの蓋ラッチ機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外13名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-227118
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053137
出願日： 1999年08月11日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 クリーンボックスの蓋ラッチ機構を簡単で故障しにくい構成とする。【解決手段】 一面に開口したボックス本体と該開口を閉鎖する蓋とを有するクリーンボックスの蓋をラッチするラッチ機構は、ボックス本体に取り付けられた一つの軸周りに枢動可能なラッチ部材と、蓋に設けられ所定の枢動位置にある前記ラッチ部材と係合するラッチ係合部と、ラッチ部材をラッチ係合部へ向けて付勢する付勢手段とを含む。ラッチ部材のボックス本体開口の外側方向に面する部分にはガイド面が設けられ、クリーンボックスをロードポートに設置する際に、ガイド面がロードポートに設けられたラッチガイドに当接して押されることによりラッチ部材が枢動して蓋のラッチが解除されるように構成する。
請求項（抜粋）：
一面に開口したボックス本体と該開口を閉鎖する蓋とを有するクリーンボックスの蓋をラッチするラッチ機構であって、ボックス本体に取り付けられた一つの軸周りに枢動可能なラッチ部材と、蓋に設けられ所定の枢動位置にある前記ラッチ部材と係合するラッチ係合部と、前記ラッチ部材を前記ラッチ係合部へ向けて付勢する付勢手段とを含み、前記ラッチ部材のボックス本体開口の外側方向に面する部分にはガイド面が設けられ、クリーンボックスをロードポートに設置する際に前記ガイド面がロードポートに設けられたラッチガイドに当接して押されることにより前記ラッチ部材が枢動して蓋のラッチが解除されるようになされていることを特徴とするクリーンボックスの蓋ラッチ機構。
Fターム (4件)：
5F031CA01
, 5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA12
