特許

J-GLOBAL ID：200903074350303781

薄膜トランジスタ、液晶表示装置、有機エレクトロルミネッセンス素子、ならびに表示装置用基板およびその製造方法

発明者： 橋本 伸一郎
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 角田 嘉宏 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-378516
公開番号（公開出願番号）：特開2003-179069
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】 製造時におけるフォト工程の工程数を減らすことにより製造コストを削減することが可能な薄膜トランジスタ、ならびにこのような薄膜トランジスタを備えた表示装置用基板およびその製造方法、さらにはこのような表示装置用基板を含んだ液晶表示装置および有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。【解決手段】 表示装置用基板のゲート線125およびソース線127で区画された1つの画素領域115のTFT部において、基板1上に形成されたゲート電極たる第1の金属膜2内に収まるようにゲート絶縁膜3および第1の半導体膜4が形成されたものである。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に形成されたゲート電極と、前記ゲート電極上に順に形成されたゲート絶縁膜および半導体膜を含む半導体領域と、前記ゲート電極および前記半導体領域を覆うように形成されたチャネル保護膜と、前記半導体膜の上面から前記チャネル保護膜を上方に貫通して延びるようにそれぞれ形成されたソース電極部およびドレイン電極部とを備えた薄膜トランジスタにおいて、平面視において、前記半導体領域が前記ゲート電極内に収まるように形成されたことを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (8件)：

H01L 21/336 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 ,  G09F 9/35 ,  H01L 29/786 ,  H05B 33/14

FI (9件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 Z ,  G09F 9/35 ,  H05B 33/14 A ,  H01L 29/78 627 C ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 616 J

Fターム (88件)：

2H088EA22 ,  2H088EA25 ,  2H088FA18 ,  2H088FA24 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088HA04 ,  2H088MA20 ,  2H092JA24 ,  2H092JA29 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JB58 ,  2H092JB61 ,  2H092NA21 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  2H092RA10 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007GA00 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA48 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5F110AA16 ,  5F110BB02 ,  5F110CC07 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE25 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ18 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK25 ,  5F110HK35 ,  5F110HK42 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HL12 ,  5F110HM02 ,  5F110HM05 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN12 ,  5F110NN22 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN37 ,  5F110NN38 ,  5F110NN44 ,  5F110NN45 ,  5F110NN46 ,  5F110NN47 ,  5F110NN54 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ19