被膜を備えた光学物品とその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-263280
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105801
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】湿式法を用いずに、ドライプロセスのみで、ハードコート、反射防止膜、さらに、水ヤケ防止性および帯電防止性を併せ持つ薄膜までを一貫して形成可能な光学物品およびその製造方法を提供する。【解決手段】基材上に、Siを含む有機化合物ガスと酸素ガスとの混合ガスを用い、プラズマCVDによりハードコート層を形成する。この上に、真空蒸着法により、反射防止膜を形成する。さらに、Siを含む有機化合物ガスとニトロ化合物のガスを導入し、プラズマCVDにより、アミド基含有有機シラン化合物からなる多機能性薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

透明基材と、前記基材上に形成されたハードコート層と、前記ハードコート層上に形成された、無機化合物からなる多層または単層の反射防止膜と、前記反射防止膜上にCVD法により形成されたアミド基含有有機シラン化合物からなる多機能性薄膜とを有することを特徴とする光学物品。

IPC (4件)：

G02B 1/10 , B29D 11/00 , C23C 16/30 , C23C 28/04

FI (4件)：

G02B 1/10 Z , B29D 11/00 , C23C 16/30 , C23C 28/04

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