特許
J-GLOBAL ID：200903074360686263
位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-131736
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342748
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 被検物上の位置検出用のマークの段差や、被検物上に塗布されている感光材等の膜厚等に依らずに、高精度に被検物の位置を検出する。【構成】 He-Neレーザ光源1及び半導体レーザ素子3からの2つの波長の光からなる光束を2分割して、第1の音響光学変調素子(AOM)8A及び第2のAOM8Bに入射させる。AOM8A及び8Bでのブラッグ回折による回折光を、それぞれリレーレンズ10A及び10Bを介してハーフプリズム12に導き、ハーフプリズム12で平行にされた2つの回折光を対物レンズ13を介してウエハ14上の回折格子状のアライメントマーク15に照射する。アライメントマーク15から垂直上方に射出される±1次回折光をミラー16を介して受光系に導く。
請求項（抜粋）：
互いに周波数が異なる2光束を生成する2光束生成手段と、該2光束生成手段からの2光束を集光して被検物上に形成された回折格子状マークに対して前記2光束を所定の2方向から照射する対物光学系と、前記回折格子状マークから同一方向に発生する回折光同士による干渉光を前記対物光学系を介して光電的に検出する検出器とを有し、前記被検物の位置を検出する位置検出装置において、前記2光束生成手段は、複数の波長の光束を供給する光源手段と、該光源手段から供給される光束を2分割して第1及び第2の光束を生成する光分割手段と、進行波を利用して前記第1の光束を回折及び周波数変調すると共に前記被検物と共役に配置された第1の変調手段と、進行波を利用して前記第2の光束を回折及び周波数変調すると共に前記被検物と共役に配置された第2の変調手段とを有し、前記第1及び第2の変調手段により回折されてそれぞれ前記被検物に照射される前記第1及び第2の光束の間に所定の周波数差を与えたことを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
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