特許
J-GLOBAL ID：200903074364206800
平面状基板の収納装置に用いる基板ガイド治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-118209
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291389
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 例えばウエハ等の平面状基板を簡単かつ確実に収納装置の所定の位置に平行状に収納することができるようにする。【構成】 両側板3の内側面にそれぞれ複数の突条部4が平行状に設けられたウエハキャリヤ1の前面開口2に、ウエハガイド治具6を着脱自在に装着する。治具6は、ウエハキャリヤ1の各突条部4に対応しかつ各突条部4の先端よりも内方へ突出する複数の突出部8を有する。各突条部8の下面を収納されるウエハ10のパターン面Pに対して離間する傾斜逃げ面8bとする。ウエハ10を治具6を介して前面開口2から挿入させると、各突出部8によってウエハ10の挿入先端側がガイドされるので、ウエハ10の両側の外周部10aが両側の対向する各突条部4の間に簡単かつ確実に係合され、ウエハ10は段違いに斜めになることなく所定の位置に正しく平行状に収納される。
請求項（抜粋）：
前面開口を有する収納箱体の対向する両側板の内側面にそれぞれ複数の突条部を平行状に設け、平面状基板を前記前面開口から挿入させてその基板の両側の外周部をそれぞれ前記両側の各突条部の間に係合させることにより、複数の基板を平行状に収納するように構成した平面状基板の収納装置、に用いる基板ガイド治具であって、ほぼ板状に形成されて前記収納装置の前面開口に着脱自在に構成され、その収納装置の前記両側の各突条部に対応すると共にそれら各突条部の先端よりもそれぞれ内方へ突出する複数の突出部を有し、かつ、これら各突出部の両面の少なくとも一方の面を前記収納される基板の面に対して離間する逃げ面にて構成してなる基板ガイド治具。
IPC (2件)：
前のページに戻る
