特許
J-GLOBAL ID：200903074366188885
静電容量型力学量検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-076445
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258074
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 可変容量素子の構造を複雑化することなくバイアス付与式の自己診断を簡単に実施できるようにした静電容量型力学量検出装置を提供すること【解決手段】 可変容量素子4と抵抗5とが直列接続されて微分回路が構成されており、可変容量素子4の一端が発振回路6の出力端に接続され、可変容量素子4と抵抗5の接続点が検出回路8の入力端に接続され、抵抗5の他端が前記直流バイアス電圧の入力端子7となっている。発振回路6は矩形波のパルス信号を出力する。検出回路8は、微分回路(可変容量素子4と抵抗5)の出力に含まれる直流バイアス成分を除くための第2微分回路8aと、第2微分回路8aの出力と一定電圧とを比較する比較回路8bと、比較回路8bの出力を平均化して可変容量素子4の静電容量に比例したアナログ出力を発生するための平滑回路8cとを含んでいる。
請求項（抜粋）：
固定電極と、検出対象となる力学量に応答して変位する可動電極とが微小な間隔をおいて対向した可変容量素子を含む第1微分回路に対して発振回路から所定のパルス信号を印加し、その微分応答信号を検出回路にて処理することで前記可変容量素子の静電容量の変化を検出するように構成した静電容量型力学量検出装置において、前記可変容量素子に自己診断用の直流バイアス電圧を印加するための入力端子を設け、前記検出回路は、前記入力端子を介して前記直流バイアス電圧を適時に印加することで前記固定電極と前記可動電極の間に静電引力による機械的バイアスを与え、その直流バイアス電圧による前記可変容量素子の静電容量変化を検出する機能を有し、かつ、前記検出回路は前記第1微分回路の出力に含まれる前記直流バイアス成分を除くための第2微分回路を含むことを特徴とする静電容量型力学量検出装置。
IPC (5件)：
G01L 1/14
, G01D 5/24
, G01L 9/12
, G01P 15/125
, H01L 29/84
G01L 1/14 A
, G01L 9/12
, G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
, G01D 5/24 R
