特許

J-GLOBAL ID：200903074368394539

ミラー及びミラーを備えたリソグラフィック装置

発明者： レフィヌス ピーター バッケル
出願人/特許権者： エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ
代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  岩本 行夫 ,  吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-201979
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049845
出願日： 2004年07月08日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

【課題】EUV露光において、露光光より長波長の光の影響を防止できるミラーおよびそれを用いた露光装置を提供する。【解決手段】Be、B、C、P、S、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa及びUのうちの少なくとも1つから選択された材料からなる1つ又は複数の突起100によるブレーズド格子を形成した鏡映表面を有するミラー300を特徴とするリソグラフィック投影装置。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1の材料からなる1つ又は複数の第1の突起と、第2の材料からなる1つ又は複数の第2の突起とを備え、前記第1及び第2の材料が同じではない鏡映表面を有するミラー。

IPC (4件)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 503 ,  G21K1/06 B ,  G21K1/06 C ,  H01L21/30 531A

Fターム (11件)：

2H049AA07 ,  2H049AA44 ,  2H049AA48 ,  2H049AA50 ,  2H049AA63 ,  2H097AA02 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046CB02 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01