固体表面の改質方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-238349
公開番号（公開出願番号）：特開平6-335631
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：

【要約】【目的】本発明は、表面処理されるべき固体試料の表面に液体化合物または化合物溶液を接触させ、その状態で光を照射して固体試料表面部分を光化学的に改質する方法および装置を提供する。【構成】被処理固体材料上面に液体化合物または化合物溶液の薄層を介して透明窓材を密着させ、透明窓材を通して紫外線、可視光線、赤外線を照射し、被処理固体材料表面と液体化合物または化合物溶液を光励起し、液体化合物または化合物溶液中の化学種を置換し、あるいは化学種を堆積させ、または化学種によってエッチングさせることを特徴とする。【効果】光によって生成した分解生成物はすべて表面処理に使われ、従来気泡発生の原因になった余分の反応生成物を形成することもないため、気泡も発生せず、高効率で連続的に表面処理を行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

被処理固体材料上面に液体化合物または化合物溶液の薄層を介して透明窓材を密着させ、該透明窓材を通して紫外線、可視光線、赤外線を照射し、該被処理固体材料表面と該液体化合物または化合物溶液を光励起し、該液体化合物または化合物溶液中の化学種を置換し、あるいは化学種を堆積させ、またはその化学種によってエッチングさせることを特徴とする固体表面の改質方法。

IPC (6件)：

B01J 19/12 , A61L 27/00 , C04B 41/91 , C23C 22/00 , C23C 22/73 , C08L 27/12 LGL

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-219349
特開平4-270647
特開平3-279239

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審査官引用 (12件)

特開平4-219349
特開平4-219349
特開平4-219349

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