ペリクル

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201761
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027641
出願日： 1992年07月07日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】異物の発生の防止、ペリクルのエアーブローによる洗浄作業の際のペリクル膜の切れや剥れ落ちが発生しない高品質なペリクルを提供する。【構成】ペリクル膜をペリクル枠体に固着するための接着剤として、硬化後表面鉛筆硬度1B以上の紫外線硬化型樹脂組成物及び/又は硬化収縮率10%以下で、かつ、未硬化状態でペリクル膜上に滴下した場合、滴下後10分〜24時間でペリクル膜を膨潤させることのできる紫外線硬化型樹脂組成物を用いるペリクル。

請求項（抜粋）：

ペリクル膜をペリクル枠体に固着するための接着剤として、硬化後表面鉛筆硬度1B以上の紫外線硬化型樹脂組成物を用いることを特徴とするペリクル。

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