スクリーン版の露光方法及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島泰甫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-146452
公開番号（公開出願番号）：特開平11-338165
出願日： 1998年05月28日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】刷版製造コストの削減と精度の向上が達せられるスクリーン版の吸引密着露光方法及び露光装置を提供する。【解決手段】ガラス乾板4上にスクリーン版2を吸引密着させて露光処理するに際し、枠型に形成したガラス乾板ホルダー5の段差部8に上記ガラス乾板4の周縁を支持すると共に、該カラス乾板4の表面にスクリーン版2を重ね、ついで、上記ガラス乾板ホルダー5に設けられた吸引路7a、7bを介してガラス乾板4及び/又はスクリーン版2を直接真空吸引してガラス乾板4上に密着させ、露光処理する。その際、スクリーン版2とガラス乾板4とを垂直に対向させて配置し、かつ、ガラス乾板4を懸垂保持してスライダー式に移動させ、スクリーン版2に密着するよう構成することにより縦型の露光装置21も得られる。

請求項（抜粋）：

露光用光源に直接対峙させたガラス乾板上にスクリーン版を重ね合わせ、真空吸引によってスクリーン版をガラス乾板表面に密着させて露光処理することを特徴とするスクリーン版の露光方法。

IPC (2件)：

G03F 7/20 511 , G03F 7/12

FI (2件)：

G03F 7/20 511 , G03F 7/12

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