特許

J-GLOBAL ID：200903074380054042

放射線源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、およびそれによって製造したデバイス

発明者： コンスタンチン ニコラエビッチ コシェレブ ,  フレデリク ビュケルク ,  ギブイ ゲオルゲエビッチ ツカビシュビリイ ,  エフゲニイ ドミトリービッチ コロプ ,  ブラディミール ビタレビッチ イバノフ
出願人/特許権者： エイエスエム リトグラフィー ベスローテン フエンノートシャップ
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-198425
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124397
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】 放射線源は、電磁放射線を生成するよう、自身間の空間のガスまたは蒸気に放電を生成して、作業ガスまたは蒸気のプラズマを形成するため、アノードおよびカソードを備える。【解決手段】 カソードは、放電を開始するため、前記放射線源の中心軸の周囲にほぼ環状の形状を有する口を有する中空の空隙を備える。ドライバ・ガスまたは蒸気をカソードの空隙に供給し、作業ガスまたは蒸気を、アノードとカソード間で中心軸の周囲の領域に供給する。作業ガスまたは蒸気は、キセノン、リチウム蒸気および錫蒸気を噴くんでよい。

請求項（抜粋）：

アノードおよびカソードを含む放射線源にして、前記アノードおよびカソードが、電磁放射線を生成するよう、それらの間の空間のガスまたは蒸気に放電を生成するよう構成され、配置された放射線源であって、前記カソードが、前記放電を開始するよう、前記放射線源の中心軸の周囲にほぼ環状の形状を有する口を有する中空の空隙を備えることからなる放射線源。

IPC (6件)：

H05G 2/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027 ,  H05H 1/24

FI (6件)：

G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/02 X ,  H05H 1/24 ,  H05G 1/00 K ,  H01L 21/30 531 S

Fターム (14件)：

2H097AB09 ,  2H097CA13 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  4C092AA07 ,  4C092AA14 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  4C092BB02 ,  4C092BB12 ,  4C092BB17 ,  4C092BD08 ,  4C092BD09 ,  5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平1-296596
  
• 特開昭60-175351
  
• 特開平1-132099
  

審査官引用 (4件)

• 特開平1-296596
  
• 特開平1-296596
  
• 特開昭60-175351
  
• 特開平1-132099