特許
J-GLOBAL ID：200903074382062581
ペリクル膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-327350
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148873
出願日： 1992年11月12日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は常法により基板上に成膜したペリクル膜をペリクル枠フレームに接着後に、基板からペリクル膜を剥離して清浄なペリクル膜を製造する方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明のペリクル膜の製造方法は、ペリクル膜の基板からの剥離工程を温度が-50°C〜10°Cの気体中で行なうことを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
ペリクル膜を基板から剥離する方法において、温度が-50°C〜10°Cの気体中で行なうことを特徴とするペリクル膜の製造方法。
IPC (3件)：
G03F 1/14
, B29C 41/42
, H01L 21/027
