アブソリュート光学式リニヤスケール

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：脇篤夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120701
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311544
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】リニヤスケールの移動によって変化した絶対位置を内挿分割回路を適応して出力できるようにする。【解決手段】 1Sはリニヤスケールの相対的な動きによって発生するモアレ縞を検出する光学素子からスケールが移動したときに変化する周期信号を発生する光学手段、2S、3Sは同様に別の測長単位となる刻線トラックの位置を絶対値として検出するための光学手段である。4はアナログスイッチで光学手段1S、2S、3Sの出力を時分割的に取り込むア変調器5、ローパスフイルタ6、コンパレータ7を介してマイコン8に入力する。マイコン8は入力されて光学素子1S、2S、3Sからのスケールの読み出し情報から各刻線間をさらに細かく分割する内挿パルス信号を計数してスケール全長にわたってその絶対位置を形成すると共に、従来の相対的な移動情報を示しているA/B相信号発生器9からの信号を受けて、スケールの移動時にも絶対位置が示されるように動作することができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも長さ方向に等間隔で目盛られている第1の刻線と、前記第1の刻線から得られる計測単位が整数倍となるように形成された第2の刻線を有するメインスケールと、前記メインスケールに対して、移動可能に配置され前記第1及び第2の刻線に対して交差する刻線が設けられているインデックススケールと、前記両スケール間の第1の刻線と第2の刻線によって発生するモアレ縞を検出し、相対的に単位長移動する毎に周期的に変化する信号を発生する光電変換手段と、上記周期的に変化する信号を時分割的に取り込むスイッチング手段と、前記スイッチング手段で取り込んだそれぞれの信号を位相変調する変調手段と、前記変調手段で変調された変調信号の移相情報から位相偏移に応じた内挿パルス信号を発生して上記第1の刻線の間隔を内挿する内挿パルス信号を出力するアブソリュート内挿手段とを備え、上記アブソリュート内挿手段から出力されたデータに基づいて前記メインスケールの絶対位置を算出することを特徴とするアブソリュート光学式リニヤスケール。

IPC (3件)：

G01D 5/36 , G01B 11/00 , G01D 5/245 102

FI (4件)：

G01D 5/36 V , G01D 5/36 Q , G01B 11/00 A , G01D 5/245 102 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-269624
特開昭62-132104
特開昭62-132104

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