特許
J-GLOBAL ID：200903074388048564
半導体圧力センサの自己診断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-108590
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300615
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】流体の圧力を高精度に測定するセンサが正常か否かをオンラインで自己診断することを目的とする。【解決手段】半導体圧力センサを2出力信号型の構成にし、この2出力信号をマイクロコンピュータで時分割的に読み込んで演算,処理することにより、ダイアフラムが破壊するかあるいは接続部が完全に断線するかなどの極端な故障はもとより、検出部や信号処理回路の微妙な経時変化並びに接続部の半導通状態に起因した圧力センサのゼロ点や感度の経時変化もオンラインで正確に自己診断する方法。【効果】本発明によって、あらゆる故障モードをオンラインで自己診断できる半導体圧力センサを提供することができる。
請求項（抜粋）：
ボス,ストッパ及び半導体歪ゲージからなるブリッジ回路を表面に形成したダイアフラムを有するシリコンチップを台座に接合し、印加された圧力に応じて前記ダイアフラムが変形して、所定の圧力で前記ストッパを前記台座に接触させるようにすることにより、該ストッパが該台座に接触する前後の圧力で該ブリッジ回路に発生する信号に段折れ特性を持たせ、該ストッパが該台座に接触する前後の圧力をそれぞれ増幅して出力する2出力型の信号処理回路を持つ半導体圧力センサにおいて、本半導体圧力センサが使用されるシステム中のマイクロコンピュータで前記2出力を演算,処理することによって、半導体圧力センサが正常か否かをオンラインで自己診断できるようにしたことを特徴とする半導体圧力センサの自己診断方法。
IPC (2件)：
G01L 27/00
, G01L 9/04 101
G01L 27/00
, G01L 9/04 101
