特許

J-GLOBAL ID：200903074388207123

スタンパおよびスタンパの製造方法およびそのスタンパを用いて製造された導波路基板および導波路基板の製造方法

発明者： 阿部 新吾
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-156482
公開番号（公開出願番号）：特開2000-345383
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】 乾式エッチング装置を用いないですみ、なるべく人体への害が少ない溶剤を用いて、変質感光性材料を含め感光性材料を実質的に完全に除去する。【解決手段】 ガラス基板1に感光性材料2を塗布してその感光性材料2に対してパターニングを行い、パターニングした感光性材料2に対して例えばアルミニウムからなる犠牲層3を成膜し、犠牲層3に対して電極膜4を成膜し、電極膜4に対して電鋳膜5を形成し、電鋳膜5を電極膜4、犠牲層3および感光性材料2と一体の状態でガラス基板1から剥離し、剥離によって得られたスタンパ素材9に対して選択性のある例えば無機アルカリとしての水酸化カリウムからなる溶剤6を用いて感光性材料2および犠牲層3を溶解し、犠牲層3の溶解によって感光性材料2における変質感光性材料を電極膜4から分離し、変質感光性材料を含めて感光性材料2が実質的に完全に除去されているスタンパ10を得る。

請求項（抜粋）：

電鋳膜とその表層の電極膜とからなっていて凹凸によるパターン部を有しており、前記パターン部では感光性材料が実質的に完全に除去されていることを特徴とするスタンパ。

IPC (11件)：

C25D 1/20 ,  B29C 33/38 ,  B29C 33/76 ,  B29C 45/00 ,  B29C 45/26 ,  C25D 1/00 321 ,  C25D 1/00 361 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  C25D 1/02 311 ,  B29L 17:00

FI (10件)：

C25D 1/20 ,  B29C 33/38 ,  B29C 33/76 ,  B29C 45/00 ,  B29C 45/26 ,  C25D 1/00 321 ,  C25D 1/00 361 ,  C25D 1/02 311 ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N

Fターム (18件)：

2H047KA03 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047QA07 ,  2H047TA43 ,  4F202AA21 ,  4F202AG03 ,  4F202AH79 ,  4F202CA11 ,  4F202CB01 ,  4F202CD12 ,  4F202CK41 ,  4F206AA21 ,  4F206AG03 ,  4F206AH79 ,  4F206JA07 ,  4F206JQ81 ,  4F206JW41