特許
J-GLOBAL ID：200903074388565127
導電体の位置検出方法及び電子部品のリード検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲高▼木 芳之 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-340830
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161790
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 IC等の電子部品のリードの変形を高速で且つ正確に検査し、しかもリードの正規位置からの「ずれ」と「浮き」とを区別して検出する。【構成】 検査基板14上にはプリント配線手段によってパッケージ側電極15と、各ICリード12に対応する多数の測定電極16が形成されている。測定電極16は隣合う2本の電極16a,16bにより構成されると共に検査基板14の表面には絶縁皮膜が形成されている。各測定電極16a,16bとICリード12との間の静電容量cα,cβを測定し、それらの和及び差をパラメータとした数式から各リード12の「ずれ量」xと「浮き量」dとを算出する。
請求項（抜粋）：
測定電極とその測定電極の近傍に位置する導電体との間の静電容量を測定して前記導電体の前記測定電極に対するずれ量及び対面距離を検出するための方法であって、1対の測定電極を前記導電体に対向可能に設け、これらの測定電極と前記導電体との間の2つの静電容量を測定し、その各静電容量に基づいて前記導電体の前記測定電極に対するずれ量及び対面距離を算出することを特徴とする導電体の位置検出方法。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01B 7/00
, G01B 7/28
, H01L 23/50
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (1件)
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