特許
J-GLOBAL ID：200903074393577400
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-177346
公開番号（公開出願番号）：特開平8-039014
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：
【要約】【目的】 ブラシスクラブ洗浄を行う洗浄装置の洗浄用のブラシそれ自体を確実に洗浄する。【構成】 洗浄液ノズル7bから絶えず洗浄液が供給され、オーバーフロー状態となっている洗浄槽9の下部に固定されいる、石英ガラス、ライムソーダガラスや低膨張ガラスなどの摩擦係数の小さい、表面が平坦な洗浄体10にブラシ8を圧接させ、その状態で回転用モータ6bによりブラシ8を所定の時間だけ回転させ、ブラシ12に付着している異物の除去を行う。
請求項（抜粋）：
ブラシスクラブ洗浄によって被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、前記被洗浄物を洗浄するブラシを洗浄する洗浄槽と、前記洗浄槽の下部に設けられ、前記ブラシを洗浄する洗浄体と、前記ブラシを前記洗浄体に圧接する移動手段と、前記ブラシを回転させる回転手段と、前記洗浄槽内に洗浄液を注入する洗浄液供給手段とを設け、前記移動手段により洗浄液が満たされた前記洗浄槽内の前記洗浄体と前記ブラシとを圧接させ、前記回転手段によって前記ブラシを回転させて洗浄することを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 1/04
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
