特許

J-GLOBAL ID：200903074402194471

薄溝加工機及び薄溝加工方法

発明者： 大房 宏
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096404
公開番号（公開出願番号）：特開平7-299748
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 砥石刃の回転の前側で砥石刃と切削液のなじみをよくするために噴射される切削液で、砥石刃と切削液のなじみを損なうことなく加工屑の除去及び加工部分の冷却を効率よく行えるようにすることを目的とする。【構成】 高速回転する砥石刃1を備える薄溝加工機において、砥石刃1が被加工物100に接触する加工部分の近傍の砥石刃1の回転方向の前側付近から、砥石刃1の回転中心付近に向かう方向で砥石刃1の先端に切削液を噴出するノズル2を備える。

請求項（抜粋）：

高速回転する砥石刃(1)を備える薄溝加工機において、前記砥石刃(1)が被加工物(100)に接触する加工部分に近接し前記砥石刃(1)の回転方向の前側付近から、前記砥石刃(1)の回転中心付近に向かう方向で前記砥石刃(1)の先端に切削液を噴出するノズル(2)を備えることを特徴とする薄溝加工機。

IPC (3件)：

B24B 55/02 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/301

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-071974
  
• 特開昭61-241065
  
• 砥石を用いる加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-190392   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立コンピュータエレクトロニクス