特許

J-GLOBAL ID：200903074412518739

窒化アルミニウム焼結体の製造方法

発明者： 寺尾 公一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 穂上 照忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249329
公開番号（公開出願番号）：特開平6-100374
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【構成】カルシウム化合物、イットリウム化合物及びアルミニウム化合物を、下記の (1)〜(3) 式を満足するように混合した後1400°C以上の温度域で焼成し、粉砕したものを、焼結助剤として、窒化アルミニウム粉末に 0.5〜10wt%(対窒化アルミニウム)添加し、造粒、加圧成形した後、1700°C以下の温度域で焼成する。25≦CaO ≦55・・ (1)、 10≦Y2O3≦20・・ (2)、 35≦Al2O3 ≦65・・ (3)ただし、CaO 、Y203、Al2O3 はモル%で、CaO +Y203+Al2O3 = 100【効果】従来の方法によるよりも低温で、しかも、より短時間の焼成処理により製造することができる。この焼結体は高い熱伝導率と優れた酸・アルカリ耐食性を有し、半導体用パッケージ材料、絶縁基板などの素材として好適である。

請求項（抜粋）：

カルシウム化合物、イットリウム化合物およびアルミニウム化合物を、CaO 、Y203またはAl2O3 に換算してモル%で下記 (1)〜(3) 式を満足するように混合した後あらかじめ1400°C以上の温度域で焼成し、粉砕したものを、焼結助剤として、窒化アルミニウム粉末に対し 0.5〜10wt%となるように添加し、造粒、加圧成形した後、1700°C以下の温度域で焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。25≦CaO ≦55 ・・・ (1)10≦Y2O3≦20 ・・・ (2)35≦Al2O3 ≦65 ・・・ (3)ただし、CaO 、Y203、Al2O3 はモル%で、CaO +Y203+Al2O3 = 100 である。

IPC (2件)：

C04B 35/58 104 ,  C04B 35/58