集積型光カップラ及びその使用方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-172423
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077615
出願日： 1993年06月19日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【目的】集積化が容易で、プロセスが容易であり、信頼性、再現性、歩留りに優れた集積型光カップラである。【構成】半導体基板上にチャンネル導波路が形成され、その交差部に光波11,12,13の分岐・結合を行う光カップラ部7が形成されている。カップラ部7は、少なくとも一種のグレーティング14が形成されて成っている。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に構成されたチャンネル導波路構造に光波の分岐・結合を行なう為のカップラ部が構成されており、該カップラ部には、少なくとも1つのグレーティングが構成され、該グレーティングの上部にはエピタキシャル層が形成されていることを特徴とする集積型光カップラ。

IPC (3件)：

G02B 6/12 , H01S 3/18 , H04B 10/02

FI (2件)：

G02B 6/12 F , H04B 9/00 U

前のページに戻る