特許
J-GLOBAL ID：200903074441853679
静電チャック装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294239
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151568
出願日： 1992年11月02日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハの処理プロセスに悪影響を与えずに、ウェーハの温度を調整する機能を持った静電チャック装置を提供すること。【構成】 ウェーハ50は、直流電圧制御装置30から供給される電力に応じた吸着力でチャック本体10に吸着される。熱電対40は、このチャック本体10のチャック面の温度を検出するようになっており、ウェーハ50の温度を間接的に検出する。ウェーハ50に処理が施され、その処理時間の経過に伴ってウェーハ50の温度が上昇すると、直流電圧制御装置30はチャック本体10への供給電力を増加してウェーハ50とチャック本体10との吸着力を高め、ウェーハ50の温度上昇を抑える。
請求項（抜粋）：
半導体装置を製造するにあたり、その各々の製造プロセスにおいてウェーハを固定すべく使用される静電チャック装置において、該ウェーハを静電吸着するチャック本体のチャック面温度を検出する温度検出手段と、該チャック本体に静電吸着用の直流電力を供給する電力供給手段と、前記温度検出手段によるチャック面温度に基づいて該電力供給手段からの前記チャック本体への供給電力を調整する調整手段とを有することを特徴とする静電チャック装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
