特許

J-GLOBAL ID：200903074447486279

光学要素の位置決め方法及び装置、投影光学系、並びに露光装置

発明者： 柴崎 祐一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-026589
公開番号（公開出願番号）：特開2003-227986
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】 投影露光装置の照明光学系や投影光学系を構成する特定のレンズエレメントなどの光学要素の位置を高精度に、且つその光学要素の変形や歪などの副作用を伴うことなく調整する。【解決手段】 固定テーブル1に対して光学要素を保持する可動テーブル2を、3箇所の連結部3A〜3Cの受動ステージ9を介してそれぞれ方向D2,D4,D6に拘束力のない状態で移動できるように、即ちキネマティック拘束状態で支持する。この状態で連結部3A〜3Cで受動ステージ9をそれぞれ方向D2,D4,D6に直交する方向D1,D3,D5に駆動することによって、可動ステージ2に変形や歪を生じさせることなく、可動ステージ2を並進方向及び回転方向に位置決めする。

請求項（抜粋）：

光学要素を保持する第1部材を第2部材に対して移動し、前記光学要素を所定位置に位置決めする位置決め方法であって、前記第2部材に対し、1次元方向にそれぞれ変位する3つの支持機構を介して前記第1部材を支持し、前記3つの支持機構のうち、一つの支持機構を前記1次元方向に交差する方向に変位し、前記一つの支持機構が前記交差する方向に変位することに伴い、残りの2つの前記支持機構を前記1次元方向にそれぞれ変位させて、前記光学要素を前記所定位置に位置決めすることを特徴とする光学要素の位置決め方法。

IPC (4件)：

G02B 7/00 ,  G02B 7/02 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 7/00 B ,  G02B 7/02 C ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (12件)：

2H043AB03 ,  2H043AB10 ,  2H043AB21 ,  2H044AC01 ,  2H097CA13 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB20 ,  5F046CB26 ,  5F046CB27