特許
J-GLOBAL ID：200903074450666458
ターボ分子ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-199730
公開番号（公開出願番号）：特開2003-013880
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 ターボ分子ポンプの中間流に相当する領域での排気性能向上のための基本は単段の排気特性ではなく、複数段により排気速度を高めることである点に着目し、後段側における動翼の軸方向長さを短くして、より多段化をはかることで、結果として最上流段における排気特性の向上を図ったターボ分子ポンプを提供すること。【解決手段】 回転駆動される回転軸に連結され外周の軸方向にそって動翼およびネジ溝ポンプ段が設けられたロータと、ケーシングの内側に固定されて前記動翼と共に翼列を構成する静翼とを備えたターボ分子ポンプにおいて、前記動翼のコード長が、ネジ溝ポンプ段を除いて、翼列の各段すべてにおいてコード長が上流側段のコード長以下となるように設定するとともに、前記動翼のコード長を、ネジ溝ポンプ段を除いて、最上流段の動翼コード長に対し、ネジ溝ポンプ段を除く最下流段の動翼コード長が1/2以下となるように設定する。
請求項（抜粋）：
回転駆動される回転軸に連結され外周の軸方向にそって動翼およびネジ溝ポンプ段が設けられたロータと、ケーシングの内側に固定されて前記動翼と共に翼列を構成する静翼とを備えたターボ分子ポンプにおいて、前記動翼のコード長が、ネジ溝ポンプ段を除いて、翼列の各段すべて、特に後段の翼段において上流側段のコード長以下となることを特徴とするターボ分子ポンプ。
FI (2件)：
F04D 19/04 D
, F04D 19/04 E
3H031DA01
, 3H031DA02
, 3H031DA07
, 3H031EA00
, 3H031FA02
出願人引用 (1件)
-
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-309558
出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
審査官引用 (1件)
-
ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-309558
出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
前のページに戻る
