特許

J-GLOBAL ID：200903074451526900

微小バルブ機構を有するマイクロ流体デバイス、マイクロ流体デバイスの微小バルブ機構駆動装置、及び流量調節方法

発明者： 穴澤 孝典
出願人/特許権者： 財団法人川村理化学研究所
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280039
公開番号（公開出願番号）：特開2003-084001
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 バルブ機構駆動用配管又は結線の接続を必要とせず、簡便な方法で流体の流量調節を行うことのできるマイクロ流体デバイスを提供すること。【解決手段】 欠損部を有する部材Aにダイヤフラムを接着して、前記部材Aの欠損部と前記ダイヤフラムで流体の流入口、流出口又は流路となる空洞Aを形成し、ダイヤフラムの面積が1×10-10〜1×10-5m2、厚みが0.1〜500μmの範囲にあり、ダイヤフラムに強磁性物質を接着、固定して装着し、或いはダイヤフラムの部材Aと反対側に、欠損部を有する部材Bを接着し、部材Bの欠損部とダイヤフラムとで、ダイヤフラムを隔てて空洞Aに相対する位置に空洞Bを形成し、空洞B内部に強磁性物質が充填を装着され、磁力線によりダイヤフラムが変形して空洞Aの容積を変化させ空洞Aを流れる流体の流量が調節される微小バルブ機構を有する。

請求項（抜粋）：

{部材を貫通する欠損部、部材表面の凹状の欠損部、又は部材を貫通する欠損部及び部材表面の凹状の欠損部}を有する部材(部材A)にダイヤフラムが接着され、該部材Aの欠損部と該ダイヤフラムで流体の流入口、流出口又は流路となる空洞(空洞A)が形成され、ダイヤフラムの面積が1×10-10〜1×10-5m2、厚みが0.1〜500μmの範囲にあり、ダイヤフラムに強磁性物質を固定して装着し、或いはダイヤフラムの部材Aと反対側に空洞(空洞F)を設け、強磁性物質を該空洞F内に装着し、磁力によりダイヤフラムが変形して空洞Aの容積を変化させ空洞Aを流れる流体の流量が調節される微小バルブ機構を有することを特徴とするマイクロ流体デバイス。

IPC (8件)：

G01N 37/00 101 ,  B01J 19/00 ,  B81B 3/00 ,  F16K 7/00 ,  F16K 7/12 ,  F16K 31/02 ,  G01N 27/447 ,  G01N 30/26

FI (8件)：

G01N 37/00 101 ,  B01J 19/00 Z ,  B81B 3/00 ,  F16K 7/00 Z ,  F16K 7/12 B ,  F16K 31/02 Z ,  G01N 30/26 M ,  G01N 27/26 331 E

Fターム (22件)：

3H062AA15 ,  3H062BB04 ,  3H062CC04 ,  3H062EE10 ,  3H062HH01 ,  4G075AA03 ,  4G075AA13 ,  4G075AA39 ,  4G075AA56 ,  4G075AA61 ,  4G075BB03 ,  4G075BB05 ,  4G075CA42 ,  4G075DA02 ,  4G075ED20 ,  4G075EE12 ,  4G075EE23 ,  4G075FA01 ,  4G075FA12 ,  4G075FA20 ,  4G075FB12 ,  4G075FB13