特許

J-GLOBAL ID：200903074457658736

モアレ装置による被検体表面形状解析方法

発明者： 植木 伸明
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-090779
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287410
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【目的】 測定で得られた被検面形状を高さ成分により、選択領域と非選択領域に分け、非選択領域の形状もしくは縞画像は、所定のダミーで置き換え、この後ソフト的なローパスフィルタ処理を施すようにしているので、被検面が段差を含む場合においても高精度に被検面形状を解析することができる。【構成】 段差の上面と下面をモアレ装置の観察視野内として被検面のモアレ縞画像を得(S1)、得られたモアレ縞画像を解析して形状を求め(S2)、形状の各部分の高さに基づき形状のヒストグラムを作成し(S3)、必要な区分領域を選択する(S4)。非選択区分領域にマスクをかけ(S5)、選択区分領域の形状の最小二乗形状を求め(S6)、これをダミー形状として、非選択区分領域に重畳する(S7)。この形状全体にFFTを用いたローパスフィルタ処理を施した(S8)後、選択区分領域の形状を取り出す(S9)。

請求項（抜粋）：

複数の凹凸形状を有する被検体表面を測定して被検体表面の形状を解析するフリンジスキャンモアレ装置において、複数の凹凸形状を有する被検体表面を測定してモアレ縞画像を得、このモアレ縞画像に基づき被検体表面の形状を求め、該求められた被検体表面の前記複数の凹凸形状を所定の高さの閾値で区分し、所望する高さの前記区分を選択し、該選択された区分領域のみの高さデータに基づきこの高さデータに近似した所定の関数形状を前記非選択とされた区分領域上に作成し、次に、前記選択された区分領域には前記モアレ縞画像に基づく被検体表面の形状を、前記非選択とされた区分領域には前記所定の関数形状を各々有する形状に対して所定の演算手法によるローパスフィルタ処理を施し、この後、前記ローパスフィルタ処理が施された形状のうち前記選択された区分領域を取り出すことを特徴とするモアレ装置による被検体表面形状解析方法。

IPC (4件)：

G01B 11/25 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00 300 ,  G06T 7/60 150

FI (4件)：

G06T 1/00 300 ,  G06T 7/60 150 S ,  G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 K

Fターム (40件)：

2F065AA53 ,  2F065BB01 ,  2F065DD03 ,  2F065FF08 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU05 ,  5B057CA08 ,  5B057CA13 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CE02 ,  5B057CE06 ,  5B057CH09 ,  5B057CH11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DA12 ,  5B057DA16 ,  5B057DB03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC02 ,  5B057DC23 ,  5L096CA02 ,  5L096FA08 ,  5L096FA23 ,  5L096FA35 ,  5L096GA32 ,  5L096GA55