特許

J-GLOBAL ID：200903074466064016

振動子及びこれを用いた光偏向器並びに半導体冷却装置

発明者： 井関 隆之
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-371722
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179180
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】 冷却ファンを別途に設けることなく高い電圧で駆動できる。【解決手段】 一端側が支持部3,4に固定され、他端側が自由端である駆動用撓み部6a,7aと、駆動用撓み部6a,7aの他端側に一端が連結された捩じりバネ部9,10と、捩じりバネ部9,10の他端に固定された振動部8と、駆動用撓み部6a,7aに圧電膜を設け、圧電膜の伸縮によって駆動用撓み部6a,7aに撓み振動を発生させる圧電駆動部11,12とを備え、撓み振動部6a,7aの撓み振動を捩じりバネ部9,10を介して振動部8に伝達して振動部8を振動させる振動子において、振動部8には、圧電駆動部11,12の近傍に達する羽根部13を設けた。

請求項（抜粋）：

一端側が支持部に固定され、他端側が自由端である駆動用撓み部と、この駆動用撓み部の他端側に一端が連結された捩じりバネ部と、この捩じりバネ部の他端に固定された振動部と、前記駆動用撓み部に圧電膜を設け、この圧電膜の伸縮によって前記駆動用撓み部に撓み振動を発生させる圧電駆動部とを備え、前記撓み振動部の撓み振動を前記捩じりバネ部を介して前記振動部に伝達して前記振動部を振動させる振動子において、前記振動部には、前記圧電駆動部の近傍に達する羽根部を設けたことを特徴とする振動子。

IPC (3件)：

B06B 1/06 ,  H01L 23/467 ,  H01L 41/09

FI (4件)：

B06B 1/06 Z ,  H01L 23/46 C ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 U

Fターム (9件)：

5D107AA13 ,  5D107AA20 ,  5D107BB20 ,  5D107CC01 ,  5D107DD11 ,  5F036BA04 ,  5F036BA32 ,  5F036BB05 ,  5F036BB35