特許

J-GLOBAL ID：200903074467315942

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法およびプリント配線板の製造法

発明者： 村上 泰治 ,  市橋 靖久
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-336211
公開番号（公開出願番号）：特開2003-140329
出願日： 2001年11月01日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】 感度と解像度が共に良好であって密着性にも優れた感光性樹脂組成物、およびそれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法を提供すること。【解決手段】 本発明によれば、(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性不飽和化合物、(C)光重合開始剤、および(D)スピントラップ剤を含有する感光性樹脂組成物、ならびに、この感光性樹脂組成物層からなるレジスト層が支持体上に形成されてなる感光性エレメントが提供される。さらに本発明によれば、上記感光性樹脂組成物または感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造法およびプリント配線板の製造法が提供される。

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性不飽和化合物、(C)光重合開始剤、および(D)スピントラップ剤を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (5件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/18 D

Fターム (29件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB42 ,  2H025CC01 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD02 ,  5E339DD04 ,  5E339GG10 ,  5E343CC63 ,  5E343DD21 ,  5E343DD43 ,  5E343GG20