成膜方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邊隆 , 志賀正武 , 実広信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-030736
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241684
出願日： 2003年02月07日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】液滴吐出法等を用いることにより、例えば外部環境の影響を受けにくいなどの効果を奏する特異な成膜プロセスを提供する。【解決手段】基板上に液状体を配する工程と、液状体の液分を蒸発律速で乾燥する乾燥工程と、を備えた成膜方法。蒸発律速は、以下の式を満足する状態である。【数1】ただし、tevap;蒸発時間、tdiff;拡散時間、k;Boltzmann 定数、T;温度、σ;衝突断面積、Pevap(t);蒸発過程内の時間tにおける溶媒分圧、Pdiff(t);拡散過程内の時間tにおける溶媒分圧、である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：