耐熱性樹脂前駆体のパターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-099875
公開番号（公開出願番号）：特開2000-290406
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】本発明は、シート上にポリイミド前駆体やポリベンゾオキサゾール前駆体などの耐熱性樹脂前駆体組成物のパターン加工を実施する際に、露光から現像までの待機時間に関わらず安定して良好なパターンを得ることができる方法を提供する。【解決手段】基板上に耐熱性樹脂前駆体組成物を塗布し、ついでプリベークし、ついで露光した後、連続的に現像するに際し、現像の手前で熱処理を行うことを特徴とする、耐熱性樹脂前駆体のパターン形成方法。

請求項（抜粋）：

基板上に耐熱性樹脂前駆体組成物を塗布し、ついでプリベークし、ついで露光した後、連続的に現像するに際し、現像の手前で熱処理を行うことを特徴とする耐熱性樹脂前駆体のパターン形成方法。

IPC (3件)：

C08J 7/00 301 , C08J 7/00 304 , C08L 79/08

FI (3件)：

C08J 7/00 301 , C08J 7/00 304 , C08L 79/08

Fターム (17件)：

4F073AA06 , 4F073AA21 , 4F073AA32 , 4F073BA31 , 4F073BA52 , 4F073BB01 , 4F073CA45 , 4F073GA01 , 4J002CM031 , 4J002CM041 , 4J002EH076 , 4J002EP016 , 4J002EU046 , 4J002EV246 , 4J002FD150 , 4J002GH01 , 4J002GP03

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