特許
J-GLOBAL ID：200903074477983315
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182593
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029970
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【課題】 インクジェット記録ヘッドのインクノズルのメニスカスの不安定性に起因する印字時のサテライト等の印字品位低下を解決する。【解決手段】 感光性樹脂材料4でインク流路壁29及びオリフィスプレート23を形成し、その際、基板面に現像残り74を基板中央からオリフィスプレート側にテーパとなるよう形成し、また、天板との接合の際に天板下面に接着剤の垂れ込み部22が形成されるように接合し、その後エキシマレーザーを用いてノズル6を形成する。【効果】 ハイパワーエキシマレーザーにより形成される3次元ノズルと、フォトリソグラフによる2次元ノズルとのスムースな接続が可能となり、インク滴吐出メカニズムにおけるメニスカス移動が安定化され、印字品位が向上する。
請求項（抜粋）：
基板、および、少なくともインク吐出口、インク流路、インク液室、インク供給口からなり、かつ感光性樹脂にてインク流路壁を形成して後、天板を接合して、切断によりインク吐出口面(フェイス面)を形成するインクジェット記録ヘッドにおいて、後にインク吐出口が形成されるオリフィスプレートが設けられており、かつ前記オリフィスプレートがインク流路壁と同材質の感光性樹脂であり、かつインク流路壁と同時に形成されるものであって、インク吐出口形成をエキシマレーザーを用いて行うことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 N
