特許

J-GLOBAL ID：200903074481333376

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法

発明者： 邱 宏 ,  角 浩二
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-270245
公開番号（公開出願番号）：特開平11-112048
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 圧電体素子製造時においてクラック発生を防止しうる圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 上部電極403および下部電極302の間に圧電性材料で形成された圧電体層401,402を挟んで構成される圧電体素子において、圧電体層は、所定の密度を有する1以上の高密度圧電体層402と、高密度圧電体層402より密度を低くした1以上の低密度圧電体層401と、を備えた。低密度圧電体層401が、高密度圧電体層402の製造時に発生する残留応力を緩和し、圧電体素子におけるクラック発生を防止する。

請求項（抜粋）：

上部電極および下部電極の間に圧電性材料で形成された圧電体層を挟んで構成される圧電体素子において、前記圧電体層は、所定の密度を有する1以上の高密度圧電体層と、前記高密度圧電体層より密度を低くした1以上の低密度圧電体層と、を備えたことを特徴とする圧電体素子。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/24

FI (4件)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/22 A