特許
J-GLOBAL ID：200903074481696215
洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309555
公開番号（公開出願番号）：特開平6-136582
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】部品表面に付着した汚染物を除去する洗浄において、フロン液を使用しない精密な洗浄方法を提供する。【構成】まず、被洗浄物を185nmと254nmを主とした遠紫外線照射で予備処理し、次いでアルコール液中で超音波洗浄をして、次いで前述の遠紫外線を再び照射して後処理する。
請求項（抜粋）：
まず、被洗浄物を185nmと254nmを主とした遠紫外線照射で予備処理し、次いでアルコール液中で超音波洗浄をして、次いで前述の遠紫外線を再び照射して後処理することを特徴とする洗浄方法。
IPC (2件)：
C23G 5/04
, B08B 7/04 ZAB
