特許
J-GLOBAL ID：200903074490393187
レーザ加工装置及び加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-053937
公開番号（公開出願番号）：特開2003-251477
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 所望の深さの穴が形成されなかったことを、穴の形成直後に検出することが可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源1がパルスレーザビームを出射する。分岐光学素子6が、レーザ光源から出射されたパルスレーザビームを、加工用パルスレーザビームPL1と評価用パルスレーザビームPL2とに分岐させる。加工用光学系が、加工用パルスレーザビームを、レーザビームによって穴が形成される加工対象物上に入射させる。評価用パルスレーザビームが評価ユニット12に入射する。評価ユニット12に、1つの穴を形成するために必要なエネルギ許容値が記憶されている。評価ユニットは、入射する評価用パルスレーザビームのパルスエネルギを積算し、求められたパルスエネルギの積算値を、記憶されているエネルギ許容値と比較し、比較結果を出力する。
請求項（抜粋）：
パルスレーザビームを出射するレーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたパルスレーザビームを、加工用パルスレーザビームと評価用パルスレーザビームとに分岐させる分岐光学素子と、前記加工用パルスレーザビームを、レーザビームによって穴が形成される加工対象物上に入射させる加工用光学系と、前記評価用パルスレーザビームが入射し、1つの穴を形成するために必要なエネルギ許容値が記憶され、入射する評価用パルスレーザビームのパルスエネルギを積算し、求められたパルスエネルギの積算値を、記憶されている前記エネルギ許容値と比較し、比較結果を出力する評価ユニットとを有するレーザ加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23K 26/00 N
, H01S 3/00 B
4E068CA03
, 4E068CB01
, 4E068CC01
, 4E068CE03
, 5F072AB02
, 5F072AB15
, 5F072HH02
, 5F072JJ05
, 5F072MM08
, 5F072MM17
, 5F072QQ02
, 5F072RR03
, 5F072RR05
, 5F072SS06
, 5F072YY06
