特許
J-GLOBAL ID：200903074494587539
精密装置の送り機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049981
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237091
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 読み取りヘッドの振動を吸収することによりリニアスケールの測定誤差を低減出来るようにした、精密装置の送り機構を提供する。【構成】 リニアスケール2と、読み取りヘッド4とから構成され、精密装置に装着される送り機構5において、読み取りヘッド4のステー3に重りを付けて読み取りヘッドの振動を吸収する。
請求項（抜粋）：
リニアスケールと、読み取りヘッドとから構成され、精密装置に装着される送り機構において、前記読み取りヘッドのステーに重りを付け、読み取りヘッドの振動を吸収するように形成したことを特徴とする精密装置の送り機構。
IPC (5件)：
B23Q 17/00
, B23Q 15/24
, G01R 31/00
, H01L 21/68
, H01L 21/301
