特許
J-GLOBAL ID:200903074495199133

積層型圧電素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鳥巣 実
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-349604
公開番号(公開出願番号):特開平9-172209
出願日: 1995年12月20日
公開日(公表日): 1997年06月30日
要約:
【要約】【課題】 圧電材料膜層同士の密着強度が高く、圧電材料膜層と内部電極層との間の層間剥離を防止し、機械的強度の高い積層型圧電素子を提供する。【解決手段】 積層型圧電素子1は、圧電セラミックス材料からなる圧電材料膜層2と、導電性材料からなる内部電極層3とを交互に積層してなる。内部電極層3は、圧電材料膜層2上に導電性材料ペーストを印刷により塗布して形成する。内部電極層3は、内部電極をその面上で連続的に構成する電極部分3a(印刷部分)と、その面上の間隙となる非電極部分3b(非印刷部分)とを有し、該非電極部分3b(非印刷部分]を通じて内部電極層3を挟持する圧電材料膜層2,2同士を相互に連係する。
請求項(抜粋):
圧電セラミックス材料からなる圧電材料膜層と、導電性材料からなる内部電極層とが交互に積層されてなる積層型圧電素子において、前記内部電極層は、内部電極をその面上で連続的に構成する電極部分と、該面上の間隙となる非電極部分とを有し、前記内部電極層を挟持する圧電材料膜層同士が該非電極部分を通じて相互に連結されていることを特徴とする積層型圧電素子。
IPC (4件):
H01L 41/083 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/22
FI (3件):
H01L 41/08 Q ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z

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