透過電子顕微鏡装置および透過電子検査装置並びに検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-043235
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243338
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】試料の広領域において試料における結晶欠陥や形状異常を自動で高速かつ高確率で発見する透過電子顕微鏡装置およびそれを用いた検査方法を提供する。【解決手段】電子線源1,1段目静電レンズ2a,2段目静電レンズ2b,3段目静電レンズ2c,1段目収束レンズ13a,2段目収束レンズ13b,対物前磁場レンズ4,偏向コイル14,1段目投影レンズ8,2段目投影レンズ9,3段目投影レンズ10,1段目像シフトコイル15a,2段目シフトコイル15b,撮像装置11等から構成される透過電子顕微鏡装置において、偏向コイル14によって電子線入射方向を複数変化させて同一箇所を観察することによって結晶欠陥の発見率を100%にする。また偏向コイル14と1段目像シフトコイル15a及び2段目シフトコイル15bの偏向比率をリンクし、撮像装置11上における複数の電子線入射方向による画像ずれを補正する。

請求項（抜粋）：

電子線源で発生した電子線に加速電圧を付与する静電レンズ、及び収束レンズ、対物レンズ、投影レンズを備え、得られた画像の画像強度を検出する投影装置を備えた透過電子顕微鏡装置において、電子線の試料に対する入射角度を変更する偏向コイルを設け、偏向された電子線による透過像を形成して表示画面に表示する表示手段を設け、該表示画面に基づいて画面上の検出位置アドレスを特定して記憶し、該検出目標アドレスを使用して試料の構造についてX線または透過電子線強度を検出して観察を行なうことを特徴とする透過電子顕微鏡装置。

IPC (5件)：

H01J 37/22 501 , G01N 23/04 , G01N 23/225 , H01J 37/147 , H01J 37/26

FI (5件)：

H01J 37/22 501 A , G01N 23/04 , G01N 23/225 , H01J 37/147 A , H01J 37/26

Fターム (29件)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001DA09 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001GA01 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA13 , 2G001HA01 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA03 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 5C033EE01 , 5C033EE03 , 5C033EE06 , 5C033SS01 , 5C033SS03 , 5C033SS04

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-004144
特開平4-337236
特開昭59-119661

全件表示

前のページに戻る