特許

J-GLOBAL ID：200903074512920488

光プローブおよびその製造方法ならびに光ヘッド

発明者： 宮内 大助 ,  篠浦 治 ,  山岡 英彦
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-200359
公開番号（公開出願番号）：特開2001-028139
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 近接場光を発生する平面開口プローブにおいて、開口への光入射精度を向上させ、かつ、生産を容易にする。また、生産性が高く、性能が安定しており、高転送レートを実現可能な光ヘッドを提供する。【解決手段】 主面が(100)面から構成されるSi基板1に、内側面が(111)面から構成される四角錐台状の貫通孔11が形成されており、その一方端を構成する微小開口12付近に近接場光を発生する光プローブであって、Si基板1において貫通孔11の近傍に、断面がV字型であって、内側面が(111)面から構成されるV字型溝14が形成されており、このV字型溝14内に、光ファイバ5が固定されており、貫通孔11の他方端上に、光ファイバ5から出射された光を反射して微小開口12に集めるためのミラー2が存在し、このミラー2が、支持梁4によりSi基板1に固定されている光プローブ。

請求項（抜粋）：

主面が(100)面から構成されるSi基板を有し、このSi基板に、内側面が(111)面から構成されるほぼ四角錐台状の貫通孔が形成されており、この貫通孔の一方端を構成する微小開口付近に近接場光を発生する光プローブであって、前記Si基板において前記貫通孔の近傍に、断面がV字型であって、内側面が(111)面から構成されるV字型溝が形成されており、このV字型溝内に、光ファイバが固定されており、前記貫通孔の他方端上に、前記光ファイバから出射された光を反射して前記微小開口に集めるためのミラーが存在し、このミラーが、支持梁により前記Si基板に固定されている光プローブ。

IPC (4件)：

G11B 7/12 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/14 ,  G11B 7/135

FI (4件)：

G11B 7/12 ,  G01N 13/10 G ,  G01N 13/14 B ,  G11B 7/135 Z

Fターム (9件)：

5D119AA38 ,  5D119CA11 ,  5D119JA35 ,  5D119JA36 ,  5D119JA37 ,  5D119JA44 ,  5D119JA57 ,  5D119NA05 ,  5D119NA08